硅沉着病的主要原因是长期接触矿物质粉尘导致吸入性肺病。患者吸入硅粉尘所致的永久性肺组织瘢痕形成。 硅沉着病的发病机制目前认为是二氧化硅颗粒被肺泡巨噬细胞吞噬，留在吞噬小体内产生毒性作用，导致吞噬细胞溶酶体解体和细胞破坏，释放出二氧化硅粉尘颗粒，再被其他吞噬细胞吞噬，如此反复进行导致硅沉着病的发生。 在山区修建道路和挖掘隧道的风钻工、爆破工和运输工接触粉尘最多，是患有该疾病的高发人群。另外，建筑材料行业的采石工、石料粉碎工等，都会引起硅沉着病的发生。
